MEMS und Sensoren

Welche Größenordnung beweglicher MEMS-Strukturen ist am ehesten zutreffend?

  1. AEinige Meter
  2. BEinige Mikrometer bis einige Millimeter
  3. CEinige Pikometer
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Antwort: B. Einige Mikrometer bis einige Millimeter

MEMS ist eine Technik, mit der mechanische Strukturen (Federn, Massen, Membranen, Spiegel usw.) im Mikrometer- bis Millimeterbereich zusammen mit elektronischen Schaltungen hergestellt werden; ein Beschleunigungssensor-Chip hat z. B. 1 bis 2 mm Kantenlänge und Spalte zwischen beweglichen Teilen von einigen µm. Bei dieser Größe sind Oberflächenkräfte (elektrostatische Kraft, Oberflächenspannung) im Verhältnis zum Gewicht relativ stark, sodass anders als bei gewöhnlichen Maschinen entworfen werden muss. Noch kleinere mechanische Strukturen im Nanometerbereich heißen NEMS.

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