MEMS und Sensoren

Was wird mit einem Sensor auf Basis des Hall-Effekts (Hall-Element) hauptsächlich erfasst?

  1. ATemperatur
  2. BMagnetfeld
  3. CLuftfeuchtigkeit
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Antwort: B. Magnetfeld

Wird ein senkrechtes Magnetfeld an einen stromdurchflossenen Halbleiter gelegt, werden die Ladungsträger durch die Lorentzkraft abgelenkt, und es entsteht eine Spannung (Hall-Spannung) senkrecht zu Strom und Magnetfeld. Das Hall-Element erfasst aus dieser Spannung das Magnetfeld und wird z. B. zur Erkennung der Rotorposition bürstenloser Motoren, in berührungslosen Stromsensoren und zur Erkennung des Öffnens und Schließens von Smartphone-Hüllen eingesetzt. InSb und GaAs mit hoher Beweglichkeit sind hochempfindlich, es gibt auch in CMOS integrierte Siliziumtypen.

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