Welche Aussage zur Verteilung der bei der Ionenimplantation entstehenden Kristallschäden ist im Allgemeinen korrekt?

Antwort: C. Sie entstehen vermehrt nahe der Tiefe, in der die Ionen stoppen (Reichweite), und etwas flacher

Solange die Ionen schnell sind, verlieren sie Energie hauptsächlich durch Wechselwirkung mit Elektronen (elektronisches Abbremsen) und schlagen kaum Atome heraus. Bei abnehmender Geschwindigkeit überwiegen Stöße mit Atomkernen (nukleares Abbremsen), die nacheinander Atome herausschlagen. Daher entstehen die meisten Kristallschäden nahe der Reichweite, an der die Ionen stoppen, und etwas davor (in einer Tiefe von etwa dem 0.7- bis 0.8-Fachen von Rp). Unmittelbar unter der Oberfläche sind die Schäden relativ gering, und die Schadensverteilung liegt etwas flacher als die Dotierstoffverteilung.