Verdrahtungsprozess

Welche Technik bildet Vias selbstjustiert zum Leitungsgraben, um sie gegen Fehljustierung zwischen oberen und unteren Leitungslagen robust zu machen?

  1. ATSV
  2. BSelbstjustiertes Via (Self-Aligned Via)
  3. CLDD
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Antwort: B. Selbstjustiertes Via (Self-Aligned Via)

Bei einem Leitungs-Pitch im Bereich 20 nm führt schon ein Versatz der Via-Position um wenige nm zum Kurzschluss mit der Nachbarleitung oder zum Isolationsdurchbruch durch verringerten Abstand. Beim selbstjustierten Via bleibt die Hartmaske, in der der Leitungsgraben bearbeitet wurde, erhalten, oder auf der Leitungsoberseite wird eine Schicht anderen Materials vorgesehen, sodass die Via-Ätzung auf die Breite der Zielleitung begrenzt ist und auch bei Versatz keine Verbindung zur Nachbarleitung entsteht.

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