MBE에서 성장 중인 표면에 전자선을 얕은 각도로 쏘아 그 회절상으로 성장 모습을 실시간으로 관찰하는 수법은?

정답: B. RHEED(반사 고속 전자 회절)

RHEED는 성장 중인 표면에 10~30 keV의 전자선을 1~3° 정도의 스치는 각도로 쏘고 회절 패턴을 형광 스크린으로 관찰하는 수법입니다. 표면의 평탄함과 재구성 구조를 알 수 있고, 1원자층씩 성장할 때마다 표면의 요철이 주기적으로 바뀌어 강도가 진동하므로 성장한 층의 수를 실시간으로 셀 수 있습니다. 전자선이 기체 분자에 산란되지 않는 초고진공의 MBE이기에 가능한 관찰 방법입니다.