Reinraum und Fertigungsanlagen

Was ist der Hauptzweck eines Reinraums mit unidirektionaler Luftströmung von der Decke zum Boden (Downflow)?

  1. AErzeugte Partikel rasch unter den Boden abzuführen, sodass sie sich nicht um den Wafer ansammeln
  2. BDie Raumtemperatur zu erhöhen
  3. CDen Lärm im Raum zu senken
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Antwort: A. Erzeugte Partikel rasch unter den Boden abzuführen, sodass sie sich nicht um den Wafer ansammeln

Strömt saubere Luft aus den Hochleistungsfiltern an der Decke gleichgerichtet zum Boden, werden von Personen und Anlagen erzeugte Partikel nicht aufgewirbelt, sondern nach unten abgeführt. So sammeln sich keine Partikel um den Wafer an. Gegenüber einem Verfahren, bei dem die Raumluft durchmischt und verdünnt wird, ist eine höhere Reinheit erreichbar; da jedoch große Luftmengen bewegt werden, ist der Energiebedarf der Klimatisierung hoch. Ziel ist weder die Regelung der Raumtemperatur noch des Lärms.

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Weitere Fragen zu Reinraum und Fertigungsanlagen

  1. Welcher Hochleistungsfilter dient dazu, Feinstpartikel aus der Reinraumluft zu entfernen?
  2. Wie heißt das Konzept, nur den engen Raum um den Wafer auf hohe Reinheit zu halten?
  3. Was ist der Hauptgrund dafür, den Druck im Reinraum höher als in der Umgebung (Überdruck) zu halten?
  4. Was ist eine der Hauptpartikelquellen im Reinraum, gegen die Reinraumanzüge getragen werden?
  5. Welcher Begriff bezeichnet im Reinraum nicht Partikel, sondern gasförmige Verunreinigungen (Säuren, Basen, organische Stoffe usw.)?