Reinraum und Fertigungsanlagen

Was ist eine der Hauptpartikelquellen im Reinraum, gegen die Reinraumanzüge getragen werden?

  1. ADie Mitarbeitenden (Personen)
  2. BDer Wafer
  3. CDer Deckenfilter
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Antwort: A. Die Mitarbeitenden (Personen)

Personen geben ständig Hautschuppen, Haare und Kleidungsfasern ab und sind eine Hauptpartikelquelle; allein beim Gehen können pro Minute mehrere Millionen Partikel freigesetzt werden. Deshalb tragen Mitarbeitende Ganzkörper-Reinraumanzüge, Masken und Handschuhe und betreten den Raum erst nach der Luftdusche. Auch die Automatisierung, die Personen vom Wafer fernhält, ist ein wichtiges Mittel zur Verringerung der Partikelerzeugung. Der Deckenfilter dagegen entfernt Partikel.

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