對每一道製程進行缺陷檢測，僅擷取比前一道製程新增的缺陷，其目的下列何者正確？

正確答案：A. 為了找出缺陷是在哪一道製程（設備）產生的

將各製程的缺陷檢測結果相互比較，以座標比對並扣除前次檢測發現的缺陷，就能得知在這期間的製程中新產生的缺陷（adder）。藉此可以找出產生缺陷的製程或設備並採取對策。不僅是產品晶圓，也可以讓空白晶圓通過設備，計算增加的微粒數，以此監控各設備的潔淨度。