矽光子

量測矽波導傳播損耗的截斷法(cut-back法),其說明下列何者正確?

  1. A對1條波導輸入強光,由出口光的顏色(波長)變化求出傳播損耗
  2. B量測長度不同的波導損耗,由對長度的斜率求出傳播損耗,由外插至長度0求出耦合損耗
  3. C切斷波導並以電子顯微鏡觀察截面,僅由側壁粗糙的大小計算損耗
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正確答案:B. 量測長度不同的波導損耗,由對長度的斜率求出傳播損耗,由外插至長度0求出耦合損耗

波導的入口與出口也會因與光纖耦合而產生損耗,因此僅量測1條波導的穿透,無法區分傳播損耗與耦合損耗。截斷法準備結構相同、僅長度不同的波導(例如1、2、4 cm),以dB量測整體損耗,並對長度作圖。直線斜率為每1 cm的傳播損耗(dB/cm),長度0處的值(截距)則為入口與出口耦合損耗的合計。統一耦合條件是精度的關鍵,常使用相同形狀的光柵耦合器在晶圓上量測。

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