シリコンフォトニクス
シリコン導波路の伝搬損失を測るカットバック法の説明として正しいものはどれか。
- A1本の導波路に強い光を入れ、出口の光の色(波長)の変化から伝搬損失を求める
- B長さの違う導波路の損失を測り、長さに対する傾きから伝搬損失を、長さ0への外挿から結合損失を求める
- C導波路を切断して断面を電子顕微鏡で観察し、側壁の凹凸の大きさだけから損失を計算する
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正解：B. 長さの違う導波路の損失を測り、長さに対する傾きから伝搬損失を、長さ0への外挿から結合損失を求める
導波路の入口と出口ではファイバとの結合でも損失が生じるため、1本の導波路の透過を測っただけでは、伝搬損失と結合損失を区別できません。カットバック法では、同じ構造で長さだけが異なる導波路(例えば1、2、4 cm)を用意して全体の損失をdBで測り、長さに対してグラフにします。直線の傾きが1 cmあたりの伝搬損失(dB/cm)、長さ0での値(切片)が入口と出口の結合損失の合計になります。結合の条件をそろえることが精度の鍵で、同じ形のグレーティングカプラを使ってウエハ上で測ることがよくあります。