被視為矽波導傳播損耗（dB/cm）主要原因之一的是下列何者？

正確答案：A. 蝕刻形成的側壁細微粗糙所造成的光散射

在矽波導中，微影與蝕刻在側壁形成的數 nm左右粗糙，會將光散射到波導外。由於矽與氧化層的折射率差大、波導又細，作用在側壁的光強度也大，因此受散射的影響很強。典型條形波導的傳播損耗雖視條件而定，但約為1～3 dB/cm左右（低損耗製程則低於1 dB/cm），可藉由改用脊形波導、加寬寬度、以氧化或氫氣中熱處理使側壁平滑等方式降低。通訊波長的光子能量小於矽的能隙，因此不會發生能帶間吸收。