SiO2 膜可用作硼或磷擴散的遮罩，卻難以作為鎵或鋁的遮罩，其原因何者正確？

正確答案：B. 因為鎵或鋁在 SiO2 中的擴散非常快

硼和磷在 SiO2 中的擴散比在矽中慢得多，因此能被氧化層阻擋。另一方面，鎵和鋁會在 SiO2 中快速擴散，因此不適合以氧化層為遮罩進行選擇性擴散。鋁的固溶度也低，且在深處的擴散很快，所以有時用於功率元件的深接面。這也是矽的 p 型雜質主要使用硼的原因之一。

• A. 並不是反應後變成導體。
• B. 正確。因為在 SiO2 中擴散快，所以無法阻擋。
• C. 鎵和鋁在矽中也作為受體而作用。