산화와 확산

SiO2 막이 붕소나 인의 확산 마스크로는 사용할 수 있지만, 갈륨이나 알루미늄에 대해서는 마스크로 작동하기 어려운 이유로 올바른 것은?

  1. ASiO2가 갈륨이나 알루미늄과 반응하여 도체가 되기 때문
  2. B갈륨이나 알루미늄은 SiO2 내 확산이 매우 빠르기 때문
  3. C갈륨이나 알루미늄은 실리콘 내에서 전기적으로 불활성이기 때문
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정답: B. 갈륨이나 알루미늄은 SiO2 내 확산이 매우 빠르기 때문

붕소나 인은 SiO2 내 확산이 실리콘 내보다 훨씬 느리기 때문에 산화막으로 막을 수 있습니다. 반면 갈륨이나 알루미늄은 SiO2 속을 빠르게 확산해 버리므로, 산화막을 마스크로 한 선택적 확산에는 적합하지 않습니다. 알루미늄은 고용도도 낮고 깊은 위치까지 확산이 빨라 전력 소자의 깊은 접합에 사용되기도 합니다. 실리콘의 p형 불순물로 주로 붕소가 사용되는 이유 중 하나입니다.

  • A. 반응하여 도체가 되는 것은 아닙니다.
  • B. 올바릅니다. SiO2 내 확산이 빨라 막을 수 없습니다.
  • C. 갈륨이나 알루미늄도 실리콘 내에서 억셉터로 작용합니다.
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