在雜質濃度遠高於本質載子密度的區域，關於砷等的擴散係數隨濃度改變的現象，下列說明何者正確？

正確答案：A. 高濃度時電子增加，帶電點缺陷增加等，使擴散係數隨濃度增大

存在高濃度雜質時，費米能階會移動，帶電空缺與間隙矽的濃度增加。再加上雜質離子與電子的分布差異所產生的內部電場會推動離子，因此擴散係數會隨濃度而增大。所以高濃度的擴散分布，比起單純的 erfc 或高斯分布，更接近平坦且前端陡峭的箱形。砷在源極、汲極形成陡峭接面，也是這項特性的結果。

• A. 正確。因帶電點缺陷增加等，擴散係數變大。
• B. 即使高濃度，擴散也會發生。
• C. 高濃度時擴散係數與濃度相關。