MEMS와 센서
MEMS 마이크로폰이 소리를 전기 신호로 바꾸는 대표적인 방식은?
- A소리로 발열하는 저항의 온도 변화를 검출한다
- B소리로 발광하는 소자의 광량을 검출한다
- C음압으로 진동하는 박막과 고정 전극 사이의 정전용량 변화를 검출한다
정답과 해설 보기
정답: C. 음압으로 진동하는 박막과 고정 전극 사이의 정전용량 변화를 검출한다
일반적인 MEMS 마이크로폰은 음압으로 진동하는 두께 1 µm 안팎의 얇은 박막(다이어프램)과 구멍이 뚫린 고정 전극(백플레이트)으로 커패시터를 구성하고, 박막의 진동에 의한 용량 변화를 같은 패키지 안의 ASIC으로 전기 신호로 바꿉니다. 기존의 일렉트릿 콘덴서 마이크보다 소형이고, 납땜 열에 강하며 특성도 고르기 쉬워서, 스마트폰에서는 여러 개를 사용해 노이즈 제거 등도 수행합니다.