MEMS・センサ

MEMSマイクロフォンで音を電気信号に変える代表的な方式はどれか。

  1. A音で発熱する抵抗の温度変化を検出する
  2. B音で発光する素子の光量を検出する
  3. C音圧で振動する膜と固定電極の間の静電容量の変化を検出する
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正解：C. 音圧で振動する膜と固定電極の間の静電容量の変化を検出する

一般的なMEMSマイクロフォンは、音圧で振動する薄い膜(ダイヤフラム)と、穴のあいた固定電極(バックプレート)でコンデンサを構成し、膜の振動による静電容量の変化を電気信号に変えます。小型で量産性が高く、スマートフォンなどに広く使われています。

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