MEMS와 센서
진동형 MEMS 자이로스코프가 각속도를 검출하기 위해 이용하는 힘은?
- A코리올리 힘
- B쿨롱 힘뿐
- C부력
정답과 해설 보기
정답: A. 코리올리 힘
진동하는 물체가 회전하면 진동 방향과 회전축 모두에 수직인 방향으로 속도와 각속도에 비례하는 코리올리 힘이 작용합니다. MEMS 자이로는 추를 수 kHz~수십 kHz로 공진시켜 두고, 회전에 의해 직교 방향으로 생기는 미소한 변위를 정전용량 등으로 검출하여 각속도를 구합니다. 카메라의 손떨림 보정, 스마트폰의 자세 검출, 자동차의 차체 자세 제어(ESC), 드론 제어 등에 사용됩니다.