Cu導線的寬度變得非常細時，導線的有效電阻率上升，主要原因為下列何者？

正確答案：B. 電子的表面散射與晶界散射增加，且電阻高的阻障層所占比例也變大

當導線寬度細到與電子的平均自由路徑（Cu約40 nm）相當或更小時，電子在導線表面與晶粒邊界的散射增加，電阻率甚至可達塊材的數倍。導線變細時晶粒也變小，晶界散射進一步增加。此外，必須維持一定厚度的阻障層在剖面中所占的比例也變大。因此，平均自由路徑較短的鈷、釕、鉬等新導線材料正被研究並導入。