在以雙重圖案化為前提的佈局中，設計工具進行的圖案分配，下列何者正確？

正確答案：C. 將圖案分配到兩片光罩（著色），使同一片光罩內的圖案不會過於靠近

雙重圖案化是將一次曝光無法解析之間距的圖案，分成兩片光罩來曝光。設計工具會進行著色（coloring），使過於靠近的圖案分屬不同光罩。當三個圖案彼此靠近而形成奇數的環時，無法用兩種顏色塗分，因此會視為錯誤並要求修正。既不會集中到一片，也不會隨機刪除。