在佈局的空白處配置不具電路功能的虛設圖案，其主要目的為下列何者？

正確答案：B. 為了使圖案密度均勻，抑制CMP或蝕刻成品的變異

圖案密度若因位置而差異很大，CMP的研磨量或蝕刻速度就會產生變異，導致膜厚或尺寸不均勻。在空白處配置虛設圖案（dummy fill）以使密度一致，就能抑制這些變異。設計規則中規定了各層密度的上限與下限。由於虛設圖案有增加佈線間電容的副作用，因此在重要佈線附近會避免配置。