ダブルパターニングを前提としたレイアウトで、設計ツールが行うパターンの割り振りとして正しいものはどれか。

正解：C. パターンを2枚のマスクに振り分け(色分けし)、同じマスク内でパターンが近づきすぎないようにする

ダブルパターニングでは、1回の露光では解像できない間隔のパターンを、2枚のマスクに分けて露光します。設計ツールは、近すぎるパターンどうしが別のマスクになるように色分け(カラリング)を行い、色分けできない配置があればエラーとして修正を求めます。