더블 패터닝을 전제로 한 레이아웃에서 설계 툴이 수행하는 패턴 배분으로 올바른 것은?

정답: C. 패턴을 두 장의 마스크로 나누어(색 구분하여) 같은 마스크 안에서 패턴이 지나치게 가까워지지 않도록 한다

더블 패터닝에서는 한 번의 노광으로는 해상할 수 없는 간격의 패턴을 두 장의 마스크로 나누어 노광합니다. 설계 툴은 너무 가까운 패턴끼리 서로 다른 마스크가 되도록 색 구분(컬러링)을 합니다. 세 패턴이 서로 가까운 홀수 개의 고리가 되면 두 가지 색으로는 칠할 수 없으므로 에러로 보고 수정을 요구합니다. 한 장으로 모으거나 무작위로 삭제하지는 않습니다.