歩留まり・品質管理

欠陥検査で見つかった欠陥の種類ごとに、その欠陥があったチップのうち実際に電気的な不良になった割合を表す量を何と呼ぶか。

  1. Aアスペクト比
  2. B選択比
  3. Cキルレシオ(致命率)
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正解：C. キルレシオ(致命率)

キルレシオは、ある種類の欠陥をもつチップがテストで不良になる割合です。欠陥の種類や大きさ、発生した層によって致命的かどうかが異なるため、キルレシオを求めることで、どの欠陥の対策を優先すべきかがわかり、検査データから歩留まりを予測することもできます。

  • A. アスペクト比は深さと幅の比です。
  • B. 選択比はエッチング速度の比です。
  • C. 正しい。欠陥が実際に不良を起こす割合です。
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