수율과 품질 관리
결함 검사에서 발견된 결함의 종류별로, 그 결함이 있던 칩 중 실제로 전기적 불량이 된 비율을 나타내는 양을 무엇이라고 합니까?
- A종횡비
- B선택비
- C킬 레시오(치명률)
정답과 해설 보기
정답: C. 킬 레시오(치명률)
킬 레시오는 어떤 종류의 결함을 가진 칩이 테스트에서 불량이 되는 비율입니다. 같은 크기의 이물이라도 배선이 밀집한 층에 떨어지면 치명적이고 배선이 없는 곳이면 무해하듯이, 결함의 종류·크기·층에 따라 결과가 다릅니다. 킬 레시오를 구해 두면 어떤 결함의 대책을 우선해야 할지 알 수 있고, 인라인 검사 데이터로부터 최종 수율을 예측할 수도 있습니다.
- A. 종횡비는 깊이와 폭의 비입니다.
- B. 선택비는 식각 속도의 비입니다.
- C. 올바릅니다. 결함이 실제로 불량을 일으키는 비율입니다.