수율과 품질 관리

공정마다 결함 검사를 실시하여 앞 공정에서 새로 늘어난 결함만 추출하는 목적으로 올바른 것은?

  1. A어느 공정(장비)에서 결함이 발생했는지 특정하기 위해
  2. B칩의 가격을 정하기 위해
  3. C웨이퍼의 색을 맞추기 위해
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정답: A. 어느 공정(장비)에서 결함이 발생했는지 특정하기 위해

결함 검사 결과를 공정별로 비교하여, 이전 검사에서 발견된 결함을 좌표로 대조해 빼면 그 사이 공정에서 새로 발생한 결함(adder)을 알 수 있습니다. 이를 통해 결함을 발생시키는 공정이나 장비를 특정하여 대책을 세울 수 있습니다. 제품 웨이퍼뿐 아니라 깨끗한 웨이퍼를 장비에 통과시켜 늘어난 입자를 세는 방법으로도 장비별 청정도를 감시합니다.

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