システム構成と信頼性設計
半導体製造装置で、空気圧で開く常時閉(ノーマリクローズ)形のガス供給バルブを使い、停電や圧縮空気の喪失が起きたときには、バルブが閉じて危険なガスの供給が止まるようにしている。この設計の考え方はどれか。
- Aフェールセーフ
- Bフェールソフト
- Cフールプルーフ
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正解:A. フェールセーフ
故障や異常が起きたときに、システムが安全な側の状態になるように設計する考え方をフェールセーフといいます。常時閉形のバルブは、開くための空気圧や電力が失われるとばねの力で閉じるので、電源や空気の異常時にはガスが止まる安全な状態になります。故障しても機能を落として動き続けるのはフェールソフト、人の誤った操作を防ぐのはフールプルーフです。
- A. 正しい。異常時にバルブが閉じて、安全な状態になります。
- B. フェールソフトは、機能を落としてでも動作を続ける考え方です。
- C. フールプルーフは、人の誤った操作を防ぐ考え方です。
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