Systemarchitektur und Zuverlässigkeit
In Halbleiterfertigungsanlagen werden stromlos geschlossene Gaszufuhrventile verwendet, die mit Druckluft öffnen, sodass sich bei einem Stromausfall oder einem Ausfall der Druckluft die Ventile schließen und die Zufuhr gefährlicher Gase stoppt. Welches Entwurfsprinzip ist das?
- AFail-safe
- BFail-soft
- CFool-proof
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Antwort: A. Fail-safe
Das Prinzip, ein System so zu entwerfen, dass es bei einem Ausfall oder einer Störung in einen sicheren Zustand übergeht, heißt Fail-safe. Ein stromlos geschlossenes Ventil schließt durch Federkraft, wenn die Druckluft oder der Strom, die es öffnen, wegfallen; eine Störung bei Strom oder Luft führt daher in den sicheren Zustand, in dem kein Gas mehr fließt. Trotz eines Ausfalls mit eingeschränkter Funktion weiterzuarbeiten, ist Fail-soft, und menschliche Fehlbedienung zu verhindern, ist das Fool-proof-Prinzip.
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