MEMS・センサ
微小な流路をチップ上につくり、少量の液体で化学分析や検査を行う技術はどれか。
- Aマイクロ流体デバイス(ラボオンチップ)
- Bフォトマスク
- Cボンディングワイヤ
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正解：A. マイクロ流体デバイス(ラボオンチップ)
マイクロ流体デバイスは、MEMSの加工技術でチップ上に幅数十〜数百µmの流路や混合部、反応部をつくり、ごく少量の試料で分析や検査を行うものです。ラボオンチップとも呼ばれ、医療の迅速診断や遺伝子解析などに使われています。
- A. 正しい。チップ上の微小な流路で分析を行います。
- B. フォトマスクは露光で回路パターンを転写するための原版です。
- C. ボンディングワイヤはチップと端子を結ぶ細い金属線です。