MEMS로 만들어지는 가동 구조의 크기 기준으로 가장 적절한 것은?

정답: B. 수 마이크로미터~수 밀리미터

MEMS는 마이크로미터에서 밀리미터 정도의 기계 구조(스프링, 추, 박막, 미러 등)를 전자 회로와 함께 만드는 기술로, 예를 들어 가속도 센서 칩은 1~2 mm 각이고 가동부의 틈새는 수 µm입니다. 이 크기에서는 무게에 비해 표면의 힘(정전기력, 표면장력)이 상대적으로 강해지므로 일반 기계와는 다른 설계가 필요합니다. 더 작은 나노미터급 기계 구조는 NEMS라고 부릅니다.

• A. 수 미터는 일반 기계의 크기입니다.
• B. 올바릅니다. 마이크로미터~밀리미터 크기입니다.
• C. 수 피코미터는 원자의 크기보다 작아 구조를 만들 수 없습니다.