配線プロセス

室温での銅(Cu)の抵抗率に最も近い値はどれか。(バルクの値)

  1. A約17 Ω·cm
  2. B約1.7 mΩ·cm
  3. C約1.7 µΩ·cm
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正解：C. 約1.7 µΩ·cm

銅のバルクの抵抗率は室温で約1.7 µΩ·cmで、アルミニウム(約2.7 µΩ·cm)より低い値です。ただし、非常に細い配線では表面や粒界での電子の散乱のため、実効的な抵抗率はこれより高くなります。

  • A. 約17 Ω·cmは半導体程度の抵抗率で、金属としては非常に大きすぎます。
  • B. 約1.7 mΩ·cmは銅の抵抗率の約1,000倍です。
  • C. 正しい。銅は約1.7 µΩ·cmです。
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