Hoe heet de grootheid die per defecttype dat bij defectinspectie is gevonden, het aandeel van de chips met dat defect aangeeft dat daadwerkelijk elektrisch defect werd?

Antwoord: C. Kill ratio (fatale verhouding)

De kill ratio is het aandeel van de chips met een bepaald type defect dat bij de test defect wordt. Een vreemd deeltje van dezelfde grootte is fataal als het op een laag met dichte bedrading valt, maar onschadelijk op een plek zonder bedrading; het resultaat hangt dus af van type, grootte en laag van het defect. Als de kill ratio bekend is, is duidelijk voor welke defecten met voorrang maatregelen nodig zijn, en kan uit inline-inspectiegegevens ook de uiteindelijke yield worden voorspeld.