Nederlands
Menu

Opbrengst en kwaliteitsbeheersing

Welk model wordt gebruikt als yieldmodel waarin wordt meegenomen dat defecten op de wafer ongelijk verdeeld en geclusterd optreden (clustering)?

  1. ANegatief-binomiaal model
  2. BWet van Ohm
  3. CSchalingswet van Dennard
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: A. Negatief-binomiaal model

Het Poissonmodel gaat ervan uit dat defecten willekeurig en gelijkmatig zijn verdeeld, maar in werkelijkheid hebben defecten de neiging zich lokaal te concentreren. Het negatief-binomiale model bevat de parameter α voor de mate van clustering en wordt uitgedrukt als Y = (1 + DA/α)^(−α). Bij DA = 1 is de yield bij Poisson circa 37 % en bij α = 1 50 %; hoe meer de defecten samenklonteren, hoe meer ongeschonden chips overblijven. Naarmate α groter is, benadert het model het Poissonmodel.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Opbrengst en kwaliteitsbeheersing

  1. Hoe heet de grootheid die per defecttype dat bij defectinspectie is gevonden, het aandeel van de chips met dat defect aangeeft dat daadwerkelijk elektrisch defect werd?
  2. Welke inhoud van de wet van Little, die het verband beschrijft tussen de hoeveelheid onderhanden werk (WIP), de verwerkingssnelheid (doorvoer) en de cyclustijd in een fabriek, is juist?
  3. Hoe heet de analyse die uit de productiegeschiedenis van veel loten statistisch de apparatuur, kamers, materialen enzovoort opspoort die gemeenschappelijk zijn gebruikt voor loten met lage yield?
  4. Welke statistische procesbeheersingsmethode bewaakt meerdere onderling gecorreleerde kenmerkwaarden niet afzonderlijk maar gezamenlijk, en detecteert afwijkingen als combinatie?
  5. Hoe heet het afstellen en beheren van meerdere apparaten van hetzelfde type, zodat de verschillen in bewerkingsresultaat tussen apparaten of kamers klein worden?