Ausbeute und Qualitätskontrolle

Wie heißt die Größe, die für jede bei der Defektinspektion gefundene Defektart angibt, welcher Anteil der Chips mit diesem Defekt tatsächlich elektrisch ausfiel?

  1. AAspektverhältnis
  2. BSelektivität
  3. CKill Ratio (Ausfallrate durch Defekt)
Antwort und Erläuterung anzeigen

Antwort: C. Kill Ratio (Ausfallrate durch Defekt)

Die Kill Ratio ist der Anteil der Chips mit einer bestimmten Defektart, die im Test ausfallen. Auch bei einem Fremdkörper gleicher Größe ist er tödlich, wenn er in eine Schicht mit dichter Verdrahtung fällt, und harmlos an einer Stelle ohne Leitungen; das Ergebnis hängt von Art, Größe und Schicht des Defekts ab. Ist die Kill Ratio bekannt, erkennt man, bei welchen Defekten Gegenmaßnahmen Vorrang haben sollten, und kann aus Inline-Inspektionsdaten auch die endgültige Ausbeute vorhersagen.

Dieses Thema üben Zur Themenseite

Weitere Fragen zu Ausbeute und Qualitätskontrolle

  1. Welche Aussage zum Little'schen Gesetz, das die Beziehung zwischen Bestand in der Fabrik (WIP), Bearbeitungsgeschwindigkeit (Durchsatz) und Zykluszeit beschreibt, ist richtig?
  2. Wie heißt die Analyse, die aus den Fertigungshistorien vieler Lose statistisch ermittelt, welche Anlagen, Kammern, Materialien usw. gemeinsam bei Losen mit niedriger Ausbeute verwendet wurden?
  3. Welches Verfahren der statistischen Prozessführung überwacht mehrere miteinander korrelierte Merkmalswerte nicht einzeln, sondern gemeinsam und erkennt Störungen als Kombination?
  4. Wie heißt es, wenn bei mehreren Anlagen derselben Art Anlagen oder Kammern so eingestellt und gesteuert werden, dass der Unterschied der Bearbeitungsergebnisse zwischen ihnen klein wird?
  5. Aus einem Wafer wurden 500 Chips gewonnen, davon waren 450 gut. Wie hoch ist die Ausbeute (Yield) dieses Wafers?