Quel modèle de rendement est utilisé pour tenir compte du fait que les défauts se regroupent de façon inégale sur le wafer (clustering) ?

Réponse : A. Modèle binomial négatif

Le modèle de Poisson suppose une distribution aléatoire et uniforme des défauts, mais les défauts réels tendent à se regrouper localement. Le modèle binomial négatif comprend un paramètre α exprimant le degré de regroupement et s'écrit Y=(1+DA/α)^(−α). Pour DA=1, on obtient environ 37 % avec Poisson et 50 % avec α=1 : plus les défauts sont regroupés, plus il reste de puces intactes. Plus α est grand, plus le modèle se rapproche du modèle de Poisson.