MEMS und Sensoren

Welches mit MEMS hergestellte Ultraschallelement wird mitunter in Fingerabdrucksensoren unter dem Smartphone-Display und in der medizinischen Ultraschalldiagnostik verwendet?

  1. AVCSEL
  2. BCCD
  3. CPMUT/CMUT (mikrobearbeitete Ultraschallwandler)
Antwort und Erläuterung anzeigen

Antwort: C. PMUT/CMUT (mikrobearbeitete Ultraschallwandler)

PMUT (piezoelektrisch) und CMUT (kapazitiv) sind mit MEMS-Technik hergestellte Sende- und Empfangselemente für Ultraschall, die eine dünne Membran zum Schwingen bringen, um Ultraschall abzugeben, und zurückreflektierten Ultraschall erfassen. Gegenüber herkömmlichen Elementen aus dicker Piezokeramik lassen sich im Halbleiterprozess viele Elemente in einem Array mit feinem Rastermaß anordnen und mit Schaltungen integrieren. Sie werden in Ultraschall-Fingerabdrucksensoren im Smartphone-Display, handflächengroßen Ultraschalldiagnosegeräten und Abstandssensoren eingesetzt.

Dieses Thema üben Zur Themenseite

Weitere Fragen zu MEMS und Sensoren

  1. Welches Problem tritt auf, wenn Dünnfilme wie Polysilizium als Strukturschicht in der Oberflächen-Mikromechanik große Eigenspannungen enthalten?
  2. Auf das Wievielfache steigt die elektrostatische Anziehungskraft zwischen zwei parallelen Elektroden eines elektrostatischen MEMS-Aktors ungefähr, wenn die angelegte Spannung verdoppelt wird? (Der Elektrodenabstand bleibe unverändert.)
  3. Welche Überlegung zur Wahl des Messbereichs (z. B. ±2 G und ±16 G) in den Spezifikationen von MEMS-Beschleunigungssensoren ist korrekt?
  4. Wie heißt das Phänomen bei einem elektrostatischen Aktor mit parallelen Platten, dass die bewegliche Elektrode bei steigender Spannung jenseits einer bestimmten Position plötzlich zur festen Elektrode gezogen wird und daran haftet?
  5. Welches Verfahren wird breit zur Beurteilung der Bias-Stabilität (langsame Schwankung des Ausgangs) von MEMS-Gyroskopen verwendet?