Quel élément ultrasonore réalisé en MEMS est parfois utilisé pour les capteurs d’empreintes digitales sous l’écran des smartphones et pour l’échographie médicale ?

Réponse : C. PMUT/CMUT (transducteurs ultrasonores micro-usinés)

Les PMUT (piézoélectriques) et CMUT (capacitifs) sont des éléments d’émission et de réception d’ultrasons réalisés en technologie MEMS : une membrane mince vibre pour émettre des ultrasons et détecte les ultrasons réfléchis. Par rapport aux éléments classiques en céramique piézoélectrique épaisse, ils permettent de disposer de nombreux éléments en réseau à pas fin avec les procédés semi-conducteurs et de les intégrer aux circuits. Ils sont utilisés dans les capteurs d’empreintes ultrasonores sous l’écran des smartphones, les échographes de poche, les capteurs de distance, etc.