MEMS und Sensoren
Welches ist das typische Verfahren, mit dem ein MEMS-Mikrofon Schall in ein elektrisches Signal umwandelt?
- AErfassung der Temperaturänderung eines durch Schall erwärmten Widerstands
- BErfassung der Lichtmenge eines durch Schall leuchtenden Elements
- CErfassung der Kapazitätsänderung zwischen einer durch Schalldruck schwingenden Membran und einer festen Elektrode
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Antwort: C. Erfassung der Kapazitätsänderung zwischen einer durch Schalldruck schwingenden Membran und einer festen Elektrode
Ein übliches MEMS-Mikrofon bildet aus einer durch Schalldruck schwingenden dünnen Membran (Diaphragma) von etwa 1 µm Dicke und einer gelochten festen Elektrode (Backplate) einen Kondensator; die Kapazitätsänderung durch die Membranschwingung wird von einem ASIC im selben Gehäuse in ein elektrisches Signal umgewandelt. Es ist kleiner als herkömmliche Elektret-Kondensatormikrofone, hitzebeständig gegenüber dem Löten und weist gleichmäßigere Eigenschaften auf, sodass Smartphones mehrere davon etwa zur Rauschunterdrückung nutzen.