MEMS et capteurs
Quelle est la méthode typique de conversion du son en signal électrique dans un microphone MEMS ?
- ADétecter la variation de température d’une résistance chauffée par le son
- BDétecter la quantité de lumière émise par un élément sous l’effet du son
- CDétecter la variation de capacité entre une membrane vibrant sous la pression acoustique et une électrode fixe
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Réponse : C. Détecter la variation de capacité entre une membrane vibrant sous la pression acoustique et une électrode fixe
Un microphone MEMS courant forme un condensateur entre une membrane mince d’environ 1 µm d’épaisseur qui vibre sous la pression acoustique et une électrode fixe perforée (contre-électrode) ; la variation de capacité due à la vibration est convertie en signal électrique par un ASIC situé dans le même boîtier. Plus petit que le microphone à électret classique, résistant à la chaleur du brasage et aux caractéristiques homogènes, il est utilisé en plusieurs exemplaires dans les smartphones, notamment pour la suppression de bruit.