Welk metaal wordt veel gebruikt voor het vullen van contactgaten die een transistor met de onderste bedradingslaag verbinden?

Antwoord: A. Wolfraam (W)

Voor contactgaten wordt veel wolfraam gebruikt, dat met CVD tot diep in smalle gaten met een diameter van enkele tientallen nm kan worden gevuld (wolfraamplug). Het heeft een hoog smeltpunt en is bestand tegen elektromigratie, en blijft stabiel op plaatsen dicht bij de transistor waar hoge temperaturen heersen. Om diffusie in silicium en aantasting door het fluor van WF6 te voorkomen, wordt het gecombineerd met een barrièrelaag van Ti of TiN. In geavanceerde generaties vindt ook vervanging door kobalt of ruthenium met lagere weerstand plaats.