유리섬유 필터 등에서 방출되어 웨이퍼의 의도치 않은 도핑(오염)의 원인이 되기도 하는 원소는 무엇인가?

정답: A. 붕소(보론)

유리섬유 HEPA 필터 중에는 붕규산 유리를 사용한 것이 있으며, 불산 증기 등과 반응하여 붕소를 포함한 가스가 방출되기도 합니다. 이것이 웨이퍼 표면에 부착되면 p형 불순물로서 의도치 않은 도핑을 일으켜 특성이 어긋납니다. 그래서 저보론 여과재를 사용한 필터나 케미컬 필터가 사용됩니다. 금이나 철은 깊은 준위를 만드는 금속 오염으로, 필터에서 유래하는 대표적인 원소가 아닙니다.