클린룸과 장비
베이-체이스 방식 클린룸에서 장비 뒤쪽의 보수용 공간(체이스)의 청정도 취급으로 일반적인 것은 무엇인가?
- A공장 내에서 가장 높은 청정도로 관리된다
- B옥외와 같은 환경으로 둔다
- C웨이퍼를 다루는 작업 구역(베이)보다 낮은 청정도로 관리되는 경우가 많다
정답과 해설 보기
정답: C. 웨이퍼를 다루는 작업 구역(베이)보다 낮은 청정도로 관리되는 경우가 많다
베이-체이스 방식에서는 웨이퍼를 다루는 작업 구역(베이)을 높은 청정도로 유지하고, 장비 뒤쪽의 보수용 공간(체이스)은 그보다 낮은 청정도로 관리하는 경우가 많습니다. 장비 본체를 벽에 묻듯이 배치하고 조작면만 베이 쪽으로 내놓음으로써 보수 작업에서 발생하는 먼지가 베이로 들어가지 않도록 합니다. 청정도를 구분하면 건설비와 운전비를 절감할 수 있습니다.