MEMS와 센서
산화주석 등을 사용한 반도체식 가스 센서의 검출 원리로 올바른 것은?
- A가스의 온도로 발광한다
- B가스에 의해 소리가 변화한다
- C검출 대상 가스가 표면에 흡착·반응하여 센서 재료의 전기 저항이 변화한다
정답과 해설 보기
정답: C. 검출 대상 가스가 표면에 흡착·반응하여 센서 재료의 전기 저항이 변화한다
반도체식 가스 센서에서는 300~400 ℃ 정도로 가열한 산화주석(n형 반도체) 표면에 산소가 흡착하여 전자를 붙잡고, 입자의 경계에 장벽이 생겨 저항이 높아져 있습니다. 가연성 가스나 환원성 가스가 있으면 흡착 산소와 반응하여 전자가 되돌아오므로 저항이 내려갑니다. 1960년대에 일본에서 실용화되었으며 가스 누출 경보기에 널리 사용됩니다. 저렴하고 고감도인 반면, 가스의 종류를 구별하는 데는 약합니다.