MEMS와 센서

미소한 외팔보나 수정 진동자의 표면에 물질이 부착되면 공진 주파수가 변하는 것을 이용하여 극히 작은 질량을 검출하는 방법에 대한 설명으로 올바른 것은?

  1. A부착된 질량이 늘어나면 공진 주파수가 올라간다
  2. B부착된 질량이 늘어나면 공진 주파수가 내려가며, 그 변화량으로부터 질량을 구한다
  3. C공진 주파수는 질량과 관계없다
정답과 해설 보기

정답: B. 부착된 질량이 늘어나면 공진 주파수가 내려가며, 그 변화량으로부터 질량을 구한다

공진 주파수는 √(k/m)에 비례하므로, 표면에 물질이 부착되어 질량 m이 늘어나면 주파수는 내려가며, 작은 변화라면 Δf/f ≈ −Δm/(2m)입니다. 진동자가 작고 가벼울수록 미세한 질량 변화로도 주파수가 크게 변하며, 나노미터급 빔에서는 분자 1개에 가까운 질량도 검출할 수 있습니다. 수정 진동자 마이크로밸런스(QCM)는 증착 장치의 막 두께 모니터로 널리 사용되며, 가스나 생체 분자 센서에도 응용되고 있습니다.

  • A. 질량이 늘어나면 공진 주파수는 내려갑니다.
  • B. 올바릅니다. 주파수의 저하로부터 부착된 질량을 구합니다.
  • C. 공진 주파수는 질량에 의존합니다.
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