MEMS와 센서
반도체 압력 센서 등에 이용되는 압저항 효과(piezoresistive effect)에 대한 설명으로 올바른 것은?
- A기계적 응력이 가해지면 재료의 전기 저항률이 변화하는 효과
- B빛을 쬐면 전압이 발생하는 효과
- C자기장에 의해 전류의 방향이 휘어지는 효과
정답과 해설 보기
정답: A. 기계적 응력이 가해지면 재료의 전기 저항률이 변화하는 효과
실리콘은 응력이 가해지면 결정의 밴드 구조가 변하여, 금속 스트레인 게이지보다 수십 배 큰 폭으로 저항률이 변화합니다(압저항 효과). 압력을 받아 변형되는 얇은 다이어프램의 가장자리에 저항 4개를 만들어 넣고 휘트스톤 브리지로 저항 변화를 검출하면 압력을 전기 신호로 변환할 수 있습니다. 자동차 엔진이나 타이어의 압력, 혈압계, 기압계 등에 사용되며, 온도 보상이 설계의 핵심입니다.