배선 공정

어떤 배선의 용량에 대해 올바른 설명은?

  1. A같은 층의 이웃 배선과의 용량만 생각하면 된다
  2. B같은 층의 이웃 배선과의 용량에 더해 위아래 층의 배선이나 기판과의 용량도 있다
  3. C배선에는 용량이 없다
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정답: B. 같은 층의 이웃 배선과의 용량에 더해 위아래 층의 배선이나 기판과의 용량도 있다

배선의 용량은 같은 층에서 인접한 배선 사이(가로 방향)의 용량에 더해, 위아래 층의 배선이나 기판과의 사이(세로 방향) 용량, 그리고 배선 끝에서 돌아 들어가는 전계에 의한 용량(프린지 용량)까지 합한 것입니다. 배선 피치가 좁아지면 가로 방향 용량의 비율이 커지고 신호끼리의 간섭(크로스토크)의 원인이 되기도 합니다. 설계에서는 이들을 3차원 전계 계산으로 추출하여 지연을 견적합니다.

  • A. 위아래 층이나 기판과의 용량도 무시할 수 없습니다.
  • B. 맞습니다. 가로 방향과 세로 방향 용량이 있습니다.
  • C. 배선은 주위 도체와의 사이에 반드시 용량을 가집니다.
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