에피택셜 성장

고농도 기판 위의 저농도 에피층의 두께를 적외선의 간섭을 이용해 측정하는 방법은?

  1. ASIMS
  2. BSEM에 의한 단면 관찰
  3. C푸리에 변환 적외 분광(FTIR)법
정답과 해설 보기

정답: C. 푸리에 변환 적외 분광(FTIR)법

고농도 기판은 자유 캐리어가 많기 때문에 적외선에 대한 굴절률이 저농도 에피층과 약간 달라 계면에서 반사가 일어납니다. 표면과 계면에서 반사된 빛의 간섭 무늬 간격을 FTIR로 측정하면 비파괴·비접촉으로 몇 초 안에 에피층의 두께를 구할 수 있습니다. 기판과 에피층의 농도 차이가 작으면 계면의 반사가 약해져 측정할 수 없으므로, 그 경우에는 단면 관찰이나 C-V 측정을 사용합니다.

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