박막 증착(CVD와 PVD)
좁은 트렌치를 성막으로 채울 때, 트렌치 입구 부근에 막이 두껍게 형성되는 것(오버행)으로 인해 발생하기 쉬운 문제는?
- A트렌치 안이 막으로 과도하게 채워진다
- B막이 도체가 된다
- C입구가 먼저 막혀 트렌치 안에 공극(보이드)이 남는다
정답과 해설 보기
정답: C. 입구가 먼저 막혀 트렌치 안에 공극(보이드)이 남는다
트렌치 입구의 모서리에 막이 두껍게 형성되면(오버행), 바닥과 측벽에 막이 충분히 쌓이기 전에 입구가 닫혀 안에 공극(보이드)이 남습니다. 보이드는 배선 저항 상승이나 단선, 이후 공정에서의 약액 침투, 신뢰성 저하의 원인이 됩니다. 단차 피복성이 좋은 성막 방법을 선택하는 것 외에, 성막과 식각을 번갈아 반복하여 입구를 넓히거나(dep-etch-dep), 트렌치 형상을 위가 넓어지게 하는 등의 방법을 사용합니다.