Was ist der Zweck, in jedem Prozess eine Defektinspektion durchzuführen und nur die gegenüber dem vorherigen Prozess neu hinzugekommenen Defekte zu extrahieren?

Antwort: A. Den Prozess (die Anlage) zu bestimmen, in dem die Defekte entstanden sind

Vergleicht man die Ergebnisse der Defektinspektion von Prozess zu Prozess und zieht die in der vorherigen Inspektion gefundenen Defekte nach Abgleich der Koordinaten ab, erkennt man die in den dazwischenliegenden Prozessen neu entstandenen Defekte (Adder). Damit lassen sich der Prozess oder die Anlage, die Defekte erzeugt, bestimmen und Gegenmaßnahmen treffen. Neben Produktwafern wird auch durch das Durchlaufen unbeschichteter Wafer durch die Anlage und Zählen der hinzugekommenen Partikel die Sauberkeit je Anlage überwacht.