Ausbeute und Qualitätskontrolle

Warum steigt die Zahl der aus einem Wafer gewonnenen guten Chips stark, wenn bei gleichem Wafer die Chipfläche verkleinert wird?

  1. AWeil die Chips schwerer werden
  2. BWeil sich die Farbe des Wafers ändert
  3. CWeil die Chipzahl zunimmt und zugleich die Wahrscheinlichkeit sinkt, dass ein Chip Defekte enthält
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Antwort: C. Weil die Chipzahl zunimmt und zugleich die Wahrscheinlichkeit sinkt, dass ein Chip Defekte enthält

Werden die Chips kleiner, steigt die Zahl der aus einem Wafer gewonnenen Chips. Bei gleicher Defektdichte sinkt zudem die Wahrscheinlichkeit, einen Defekt zu enthalten, je kleiner der Chip ist, und die Ausbeute steigt. Wird bei D = 0,2 Defekte/cm² die Fläche von 2 cm² auf 1 cm² verkleinert, verdoppelt sich die Chipzahl etwa, die Ausbeute steigt von etwa 67 % auf etwa 82 %, und die Zahl guter Chips wächst auf das etwa 2,4-Fache. Gewicht oder Farbe spielen keine Rolle.

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