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MOSFET

Si l’on amincit uniquement l’isolant de grille sans changer son matériau ni sa surface, comment évolue la capacité de grille par unité de surface ?

  1. AElle augmente
  2. BElle diminue
  3. CElle ne change pas
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Réponse : A. Elle augmente

La capacité de grille s’assimile à un condensateur plan : par unité de surface, Cox = ε/t. Amincir le film augmente la capacité ; à tension de grille égale, la charge induite dans le canal augmente, le courant de commande croît et les effets de canal court sont mieux maîtrisés. Cependant, lorsque le SiO2 atteint environ 1.2 nm, la fuite de grille par effet tunnel atteint sa limite ; depuis le nœud 45 nm, on utilise des matériaux high-k à base de HfO2, qui peuvent être physiquement plus épais.

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